本发明公开了一种用于液体雾化的硅基发热雾化芯，包括：硅衬底、隔离层、加热丝和钝化保护层，硅衬底上设置有储液腔，硅衬底表面设置有位置对应储液腔的硅膜部，硅膜部上设置有阵列排布的雾化微通道，雾化微通道连通至储液腔，隔离层制作在硅衬底表面，加热丝制作在隔离层上，加热丝的端部设置有接触电极，钝化保护层制作在加热丝上，钝化保护层上设置有位置对应接触电极的避让孔。本发明还公开了一种用于液体雾化的硅基发热雾化芯的制造方法。本发明相较于现有技术，衬底采用硅材料，安全可靠，易于加工，雾化芯锁液、储液能力强，提高加热丝加工良率，雾化芯加热丝的电阻稳定性高，雾化效果好。