本发明涉及一种浸泡式去胶清洗、干燥一体机，包括：机体；浸泡甩干组件，设置在机体内，浸泡甩干组件包括承载托盘和旋转机构，其中，承载托盘中开设有放置槽，在放置槽内设置有夹持物料的勾形托座，将物料放置在放置槽中并通过勾形托座固定，实现对物料的浸泡清洗；旋转机构与承载托盘的盘底连接，旋转机构带动承载托盘旋转以完成甩干动作；喷嘴组件，设置在机体上，包括气体喷嘴和液体喷嘴，液体喷嘴在浸泡清洗的过程中向承载托盘中依次加入清洗液和清水，气体喷嘴在甩干的过程中向承载托盘吹气辅助物料烘干。本发明在一台设备中实现晶圆的浸泡清洗、清洗液甩干回收及晶圆干燥处理，减少晶圆的转运和移动，防止晶圆损伤，同时提高晶圆清洁效率。