一种梳齿间隙可调式MEMS加速度计
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摘要

本发明提供了一种梳齿间隙可调式MEMS加速度计,包括:衬底层,所述衬底层上设有器件层,所述器件层上设有正检测单元和负检测单元,所述正检测单元和负检测单元内设有多个梳齿间隙调节装置,所述正检测单元和负检测单元相对设置,所述正检测单元和负检测单元之间设有可动质量块,所述可动质量块上设有正力平衡单元和负力平衡单元,所述正力平衡单元和负力平衡单元平行设置;本发明通过梳齿间隙可调式MEMS加速度计的创新设计,可实现补偿由于工艺制造导致的结构间隙偏差、失配、加工一致性差等问题,从而保证了器件设计指标的零偏移,增强了器件指标的稳定性、一致性,同时提升了装置的灵敏度和分辨率,优化了MEMS加速度计的性能。

基本信息
专利标题 :
一种梳齿间隙可调式MEMS加速度计
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114088976A
申请号 :
CN202210076287.0
公开(公告)日 :
2022-02-25
申请日 :
2022-01-24
授权号 :
CN114088976B
授权日 :
2022-04-12
发明人 :
雷龙海白龙陈首任郭雪培朱玉伦
申请人 :
成都华托微纳智能传感科技有限公司
申请人地址 :
四川省成都市中国(四川)自由贸易试验区成都市双流区黄甲街道货运大道868号仓储横一路88号附3号
代理机构 :
成都其知创新专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王沙沙
优先权 :
CN202210076287.0
主分类号 :
G01P15/125
IPC分类号 :
G01P15/125  B81B7/02  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量;运动的存在或不存在的指示;运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S;核辐射速度的测量入G01T)
G01P15/00
测量加速度;测量减速度;测量冲击即加速度的突变
G01P15/02
利用惯性力
G01P15/08
用变换成电或磁量
G01P15/125
应用电容变送器
法律状态
2022-04-12 :
授权
2022-03-15 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01P 15/125
申请日 : 20220124
2022-02-25 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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