本发明涉及靶材技术领域，公开了一种ITO旋转靶的装粉装置，包括模具主体和驱动机构，所述模具主体的内部同轴设有芯轴，所述模具主体与所述芯轴之间用于填充ITO粉，所述模具主体的外侧可上下移动地设有锤击机构，所述驱动机构可拆卸地设置在所述模具主体的下端，用于驱动所述模具主体旋转。本发明制作靶材素胚时将ITO粉装入模具主体与所述模具芯轴之间的空腔，然后驱动机构驱动模具主体进行旋转，同时锤击机构上下移动地对模具主体的外壁进行锤击，从而实现了对模具主体的全方位锤击，保证了靶材素胚的密度，从而提高了ITO旋转靶的成型密度，保证了靶材的质量。同时，由于采用锤击机构进行拍打、夯实，不仅节约了劳动力，也提高了装粉效率。