本发明公开了一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理装置及方法，该处理装置包括：旋风分离器；旋风分离器的侧壁开设有进气口，顶部开设有出气口，底部开设有排灰口；进气口通过第一管道与反应炉的尾气出口连接，出气口通过第二管道与真空泵尾气进口连接；旋风分离器的内部横向固定连接有除尘风筒，除尘风筒位于进气口的上方，除尘风筒的底部开设有通孔，除尘风筒的侧壁上开设有若干出风孔；旋风分离器的内部固定连接有初滤网，初滤网位于所述除尘风筒的正上方。在本发明中，大部分的颗粒物会在旋风分离当中被除尘风筒截留下来，落入积灰仓达到分离效果，微小颗粒物则在初滤网当中被拦截，以此确保过滤效果，过滤装置不易堵塞，减少维护频次。