一种空中运输车的升降机构控制方法及系统
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种空中运输车的升降机构控制方法及系统,应用于半导体晶圆制造设备技术领域,其中空中运输车的升降机构控制方法包括:当空中运输车在轨道中运行到预定位置时,启动升降机构对夹持机构的驱动,以使夹持机构进行升降运动;获取所述升降运动的速度值,并根据所述升降运动的速度值对夹持机构的升降运动进行分段控制。通过实时获取升降运动的速度,并依据该实时速度对升降运动进行平稳、快速的分段控制,不仅使整个升降运动平稳运行,且运行的行程周长得到明显优化,极大提升了半导体工厂自动化应用中晶圆搬运效率,有助于提高晶圆生产效率。
基本信息
专利标题 :
一种空中运输车的升降机构控制方法及系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114455454A
申请号 :
CN202210096683.X
公开(公告)日 :
2022-05-10
申请日 :
2022-01-26
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
杜宝宝缪峰
申请人 :
弥费实业(上海)有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区秋山路1775弄3-4号1楼
代理机构 :
北京清大紫荆知识产权代理有限公司
代理人 :
黎飞鸿
优先权 :
CN202210096683.X
主分类号 :
B66C1/44
IPC分类号 :
B66C1/44 B66C13/16 B66C13/18 H01L21/677
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B66
卷扬;提升;牵引
B66C
起重机;用于起重机、绞盘、绞车或滑车的载荷吊挂元件或装置
B66C1/00
用来传递提升力到物件上的,附在起重机提升、降下或牵引机构上或用于与这些机构连接的载荷吊挂元件或装置
B66C1/10
用机械装置
B66C1/42
只与物件外表面或内表面贴合的夹持件
B66C1/44
并利用摩擦力的
法律状态
2022-05-27 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B66C 1/44
申请日 : 20220126
申请日 : 20220126
2022-05-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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