定位装置及扩散炉
实质审查的生效
摘要
本申请公开了一种定位装置及扩散炉，调节机构包括固定支架、角度调节装置、角度传感器、计算模块、以及控制装置；固定支架通过角度调节装置与底座可转动连接，碳硅桨的一端与固定支架水平连接，控制装置设置在底座上，且与角度调节装置连接；角度传感器、计算模块均设置在固定支架上，角度传感器与计算模块连接，计算模块与控制装置连接；角度传感器用于记录所述石英舟空载时所述碳硅桨的角度，和石英舟装载硅片后碳硅桨的角度；计算模块用于计算石英舟空载时和装载硅片后碳硅桨的角度差值，并将信号传输给控制装置；控制装置控制角度调节装置，将固定支架抬升一预设角度，且预设角度等于角度差值。本申请能够纠正碳硅桨上料前后的位置误差。
基本信息
专利标题 ：
定位装置及扩散炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114520177A
申请号 ：
CN202210098808.2
公开（公告）日 ：
2022-05-20
申请日 ：
2022-01-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
宋修扬孙军旗赵利孙玉群
申请人 ：
青岛惠科微电子有限公司;青岛惠芯微电子有限公司;北海惠科半导体科技有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市即墨区北安街道办事处太吉路1号
代理机构 ：
深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
邢涛
优先权 ：
CN202210098808.2
主分类号 ：
H01L21/68
IPC分类号 ：
H01L21/68 H01L21/677 C30B31/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/68
用于定位、定向或对准的
法律状态
2022-06-07 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/68
申请日 : 20220127
申请日 : 20220127
2022-05-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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