一种提高Zr基非晶合金深冷循环诱导回春能力的装置及工艺，本发明通过在特殊的预处理装置中配制不同比例的氢氩、氢氧、氢氮混合气，运用等离子电弧熔炼技术制备出Zr基非晶合金，并通过相应装置对熔炼炉内气体进行实时监测。并对Zr基非晶进行深冷循环，通过技术手段提升非晶合金能量，提高了能量区间，为完善金属玻璃塑性变形理论提供更多直接的实验数据。借助非晶合金处于热力学数下的能量变化。为研究不同能量下非晶合金的结构、性能提供了新的工艺方案。