大口径反射镜检测系统
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种大口径反射镜检测系统,包括干涉仪、分光镜、补偿镜组、无像差汇聚透镜组、朗奇光栅、成像镜组和相机;干涉仪发出的平面波入射至分光镜,经分光镜反射至补偿镜组,补偿镜组将平面波调制为非球面波后入射至非球面被检镜,经非球面被检镜反射后原路返回至分光镜,一路经分光镜反射进入干涉仪形成干涉图像,另一路依次透过分光镜、无像差汇聚透镜组、朗奇光栅到达成像镜组,通过成像镜组在相机内形成朗奇条纹图像。本发明不但可以对粗加工阶段进行检测,还可对精加工阶段进行检测,二者的检测结果可实时对比校正,同时避免不同检测系统进行过程检测时多次光轴对准与大口径镜面的移动,从而提高检测效率、精简检测系统结构。
基本信息
专利标题 :
大口径反射镜检测系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114486198A
申请号 :
CN202210102635.7
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2022-01-27
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
包兴臻何锋赟
申请人 :
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请人地址 :
吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
代理机构 :
长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
郭婷
优先权 :
CN202210102635.7
主分类号 :
G01M11/02
IPC分类号 :
G01M11/02 G01B11/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试;其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/02
•光学性质测试
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01M 11/02
申请日 : 20220127
申请日 : 20220127
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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