高精密运动台不同精度模式之间的切换方法和装置
实质审查的生效
摘要
本发明公开一种高精密运动台不同精度模式之间的切换方法和装置，方法包括：在运动台处于伺服模式s1运行的过程中，运动台接收模式切换指令并传送到模式状态机，其中伺服模式s1对应第一精度传感器和控制器A，伺服模式s2对应第二精度传感器和控制器B；模式状态机在当前伺服周期T1内完成伺服模式s1切换到伺服模式s2对应的状态切换，并将所述模式切换指令传送给控制器输出保持器，控制器输出保持器将T1周期内伺服模式s1的控制器A的输出CtrA(T1)锁存一周期；从第一精度传感器切换为第二精度传感器，从控制器A切换为控制器B，控制器B在控制器A的T1周期输出CtrA(T1)基础上进行伺服控制。本发明切换后的控制器将在继承的输出信号上继续输出，实现无延迟切换。
基本信息
专利标题 ：
高精密运动台不同精度模式之间的切换方法和装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114464556A
申请号 ：
CN202210103080.8
公开（公告）日 ：
2022-05-10
申请日 ：
2022-01-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
甄玉旺胡海陈海宁李晓通
申请人 ：
北京华卓精科科技股份有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层（北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团）
代理机构 ：
北京鸿元知识产权代理有限公司
代理人 ：
董永辉
优先权 ：
CN202210103080.8
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-05-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20220127
申请日 : 20220127
2022-05-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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