本发明公开了一种调整刻槽宽度装置，包括激光器，激光器发出激光由扩束镜将光斑放大，放大后依次经过光闸、玻片、偏振分束立方、光阑、反光镜组进入光学调整系统，经调整后依次通过DOE镜片和聚焦系统投射在加工平台上，DOE镜片将光束成形为矩形光；所述加工平台可以沿X轴、Y轴移动以及能够绕自身转动实现线性加工。本发明公开的一种调整刻槽宽度装置，激光通过扩束、修改和整形后进入到反光镜组，由反光镜组对光路进行调整，能够准确的通过DOE镜片，能够将激光整形为矩形光，能够使得晶圆在刻槽时受光均匀，调整加工平台的角度，能够根据需要刻槽的宽度，调整矩形光束在加工平台上的宽度。