一种垂直式弯形MEMS探针插针装置及其插针方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种垂直式弯形MEMS探针插针装置及其插针方法；用于将垂直式弯形MEMS探针插入探针卡中；装置包括上固定结构、下固定结构、平移结构、锁止结构、定位导向结构、视觉检测结构；由所述平移结构带动所述上固定结构在X、Y、Z方向上平移，以使上固定结构及上盖板在初始位置到工作位置之间位移；由所述倾斜机构带动所述下固定结构在θ轴、X轴、Y轴角度上倾斜；在工作位置、所述平移结构带动所述上固定结构分离或靠近下固定结构时，所述上盖板、下盖板之间相互平行且上探针孔、下探针孔之间竖直方向上一一对位。本装置可以使上盖板与左右垫块分离、保证平面度，插针方法，解决了目前手工插针、换针时人手抖动产生针位偏移、洒落等问题。
基本信息
专利标题 ：
一种垂直式弯形MEMS探针插针装置及其插针方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114389122A
申请号 ：
CN202210106631.6
公开（公告）日 ：
2022-04-22
申请日 ：
2022-01-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
于海超徐兴光周培清
申请人 ：
强一半导体（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区东长路18号39幢2楼
代理机构 ：
苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人 ：
徐丹
优先权 ：
CN202210106631.6
主分类号 ：
H01R43/20
IPC分类号 ：
H01R43/20 G01R1/073
法律状态
2022-05-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01R 43/20
申请日 : 20220128
申请日 : 20220128
2022-04-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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