分区管理方法、装置、计算机设备和存储介质
实质审查的生效
摘要
本发明提供了一种分区管理方法、装置、计算机设备和存储介质，属于晶圆储存装置管理领域，方法包括接收晶圆盒运输请求；根据属性信息获取目标存储仓的目标状态信息；根据属性信息和目标状态信息判断在预设时间段内目标存储仓的物理区域是否存在可用区域；当判定为否时，获取与目标存储仓的区域设置信息以及各设置区域内的区域存储信息；根据区域设置信息和区域存储信息重新进行区域设置，并在预设时间段内将目标晶圆盒运输到目标存储仓内。通过本申请的处理方案，当输送线上晶圆盒的用途或属性发生变化时，可以及时变更输送存储仓，并保证晶圆盒输送的准确性。
基本信息
专利标题 ：
分区管理方法、装置、计算机设备和存储介质
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114551296A
申请号 ：
CN202210108743.5
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2022-01-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
缪峰申国莉
申请人 ：
弥费实业（上海）有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区秋山路1775弄3-4号1楼
代理机构 ：
北京清大紫荆知识产权代理有限公司
代理人 ：
黄贞君
优先权 ：
CN202210108743.5
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20220128
申请日 : 20220128
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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