光学组件
实质审查的生效
摘要
本发明的光学组件包括反射镜单元和分束器单元。反射镜单元包括具有主面的基体、可动反射镜、第1固定反射镜和驱动部。分束器单元与可动反射镜和第1固定反射镜一起针对检测光构成第1干涉光学系统。可动反射镜的反射镜面和第1固定反射镜的反射镜面沿着与主面平行的平面,且朝向与主面垂直的第1方向上的一侧。可动反射镜和驱动部、以及分束器单元与第1固定反射镜之间的光路的至少一部分配置于气密空间。
基本信息
专利标题 :
光学组件
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114509856A
申请号 :
CN202210118147.5
公开(公告)日 :
2022-05-17
申请日 :
2018-07-06
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
铃木智史港谷恭辅杉本达哉
申请人 :
浜松光子学株式会社
申请人地址 :
日本静冈县
代理机构 :
北京尚诚知识产权代理有限公司
代理人 :
杨琦
优先权 :
CN202210118147.5
主分类号 :
G02B7/198
IPC分类号 :
G02B7/198 G02B26/08
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B7/00
光学元件的安装、调整装置或不漏光连接
G02B7/18
用于棱镜;用于反光镜
G02B7/182
用于反光镜
G02B7/198
带有反光镜相对其支座调整装置的
法律状态
2022-06-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 7/198
申请日 : 20180706
申请日 : 20180706
2022-05-17 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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