本发明提供了一种用于获取等离子体参数的数据处理方法及系统，该方法不仅能够获得等离子体空间电位、悬浮电位、电子饱和收集电流等多个等离子体参数,同时也能够自动设置线性拟合区间的拟合点数并找到最佳拟合区间，最终计算得到准确的等离子体的电子温度和电子密度。本发明不仅能够有效避免电子电流的线性拟合区间过大或过小，同时也能够有效避免离子收集电流对等离子体电子温度和电子密度计算结果的影响。