本发明提供了一种基于等离子体射流的表面裂纹精准修复装置和方法，气体瓶的气体通过管道分三路，每路都设有一个流量计，其中流量计A和媒质A洗气瓶串联，流量计B和媒质B洗气瓶串联，三路气体都进入混气箱，混气箱的出口和射流反应器的入口连接，射流反应器经等离子体激励源作用下发生放电，产生等离子体体羽，等离子体羽用于固定介质表面裂纹修复，媒质A为甲氧基硅烷，媒质B为去离子水。本发明基于大气压等离子体射流技术，解决固体绝缘表面裂纹修复中过盈涂敷、物理涂敷、化学修复剂在材料表面稳定性差等问题，实现对绝缘材料表面损伤的精准修复与化学愈合，延长固体绝缘介质的使用寿命，提高其运行可靠性。