本发明公开了一种用于掩膜电解加工的柱塞式冲液加工装置，包括柱塞式阴极和阴极推杆，柱塞式阴极和阴极推杆组成阴极，在夹具体中的柱塞腔中进行直线往复运动。凸轮推动阴极推杆使得柱塞式阴极向靠近掩膜板的方向运动，多数电解液由出液单向阀回流。柱塞式阴极在回复弹簧的作用力下向远离掩膜板的方向运动，电解液由进液单向阀进入反应区。本发明通过柱塞式阴极在柱塞腔内的往复运动和单向阀实现电解液的吸入和电解产物的排出，自主实现了电解液的更新和电解产物的排除。当阴极与掩膜接触时，可以实现连续的零间隙掩膜电解加工，提高加工精度和加工效率。