本申请提供了一种精密运动台的数据监控方法及装置，其中，该方法包括：响应于数据获取信号，按照预置时间间隔获取精密运动台的运行数据；获取预置事件的开始条件和结束条件，预置事件描述精密运动台正常运行情况、故障情况及无运行情况；若运行数据满足预置事件的开始条件，将运行数据持续发送至环形缓存器进行存储；若运行数据满足预置事件的结束条件，停止将运行数据发送至环形缓存器。本申请通过存储特征状态下的精密运动台的运行数据，解决了现有技术中将精密运动台的所有运行数据均进行存储进而造成浪费存储空间的技术问题，达到节约存储空间的技术效果。