本发明涉及高纯电子级乙二醇生产方法及装置，装置选自如下任意一种：第一种装置包括串接的阴阳离子脱除器和精馏组；其中，阴阳离子脱除器和精馏组之前串接微过滤器时，阴阳离子脱除器和精馏组之后串接脱水和纳滤组或脱水器或只串接纳过滤器；阴阳离子脱除器和精馏组之前不串接任何部件时，所述阴阳离子脱除器和精馏组之后串接纳滤器；第二种装置包括串接的微过滤器、精馏、阴阳离子脱除器和脱水组；微过滤器、精馏、阴阳离子脱除器和脱水组之后串接精馏和纳过滤器组或只串接纳过滤器；本发明的有益效果在于：提供了一种流程短，能耗低，分离效果好，工艺连续性强，纯度高，杂质含量低的超净高纯乙二醇生产方法及装置。