基于倾斜衬底新型台面的垂直腔面发射激光器
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种基于倾斜衬底新型台面的垂直腔面发射激光器，由下至上依次包括GaAs基倾斜衬底、N型金属欧姆接触层、下层DBR、有源区、上层DBR和P型金属欧姆接触层，下层DBR、有源区、上层DBR和P型金属欧姆接触层刻为葫芦形谐振腔，谐振腔周围和垂直腔面发射激光器顶部镀有P型电极，垂直腔面发射激光器底部在GaAs基倾斜衬底上生长N型电极，谐振腔外围通过二氧化硅层包覆。本发明提供的基于倾斜衬底新型台面的垂直腔面发射激光器通过改变衬底结构和激光器台面结构，从而优化激光器的偏振特性和模式特性。
基本信息
专利标题 ：
基于倾斜衬底新型台面的垂直腔面发射激光器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114530761A
申请号 ：
CN202210143285.9
公开（公告）日 ：
2022-05-24
申请日 ：
2022-02-16
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
孟红玲贾晓卫
申请人 ：
中科启迪光电子科技（广州）有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市黄埔区开源大道136号B2栋1002
代理机构 ：
北京知呱呱知识产权代理有限公司
代理人 ：
胡乐
优先权 ：
CN202210143285.9
主分类号 ：
H01S5/183
IPC分类号 ：
H01S5/183 H01S5/02
法律状态
2022-06-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01S 5/183
申请日 : 20220216
申请日 : 20220216
2022-05-24 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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