一种检测异形靶材尺寸的检具及检测方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供了一种检测异形靶材尺寸的检具及检测方法,所述异形靶材整体呈锅形,所述检具呈板状,包括内检具和外检具两部分,所述内检具的形状与异形靶材内部纵截面的形状相匹配,所述外检具为一侧开口形成凹槽的板状结构件,所述外检具中凹槽的形状与异型靶材外部纵截面的形状相匹配;所述内检具和外检具独立设置,所述内检具的尺寸小于外检具中凹槽的尺寸。本发明所述检具通过内检具和外检具两部分独立结构的设计,使其与异形靶材的内、外部结构相匹配,从而能够对该类靶材的尺寸进行精确检测,检测速率快,效率高,相比传统的三坐标测量机检测时检测时间明显缩短;所述检具结构简单,检测方法操作简便,成本较低。
基本信息
专利标题 :
一种检测异形靶材尺寸的检具及检测方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114485508A
申请号 :
CN202210145198.7
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2022-02-17
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
姚力军潘杰边逸军王学泽陈文庆
申请人 :
宁波江丰电子材料股份有限公司
申请人地址 :
浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路
代理机构 :
北京远智汇知识产权代理有限公司
代理人 :
韩承志
优先权 :
CN202210145198.7
主分类号 :
G01B21/00
IPC分类号 :
G01B21/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B21/00
不适合于本小类其他组中所列的特定类型计量装置的计量设备或其零部件
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 21/00
申请日 : 20220217
申请日 : 20220217
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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