石墨盘烘烤夹具及烘烤装置
授权
摘要
本申请公开了一种石墨盘烘烤夹具及烘烤装置，所述石墨盘烘烤夹具包括烘烤架(1)，所述烘烤架(1)上安装有多个横梁(2)，每个所述横梁(2)上均设有凹槽(3)，对应所述凹槽(3)构成石墨盘(7)的圆周边；所述烘烤架(1)上还设有两组平行相对的长通孔(4)，所述横梁(2)的两端分别设于一所述长通孔(4)内，在外力作用下，所述横梁(2)旋转和/或沿所述长通孔(4)移动，以调整所述圆周边的半径。本申请实施例的石墨盘烘烤夹具，其烘烤架上设有可供横梁移动和选择的长通孔，横梁能够通过旋转和/或移动来调整支撑角度和支撑位置，从而可以适用于不同半径长度和不同形状的石墨盘。
基本信息
专利标题 ：
石墨盘烘烤夹具及烘烤装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114199031A
申请号 ：
CN202210154369.2
公开（公告）日 ：
2022-03-18
申请日 ：
2022-02-21
授权号 ：
CN114199031B
授权日 ：
2022-05-06
发明人 ：
谷礼杰尧舜胡斌刘晨晖董国亮康联鸿汤秀娟
申请人 ：
华芯半导体研究院（北京）有限公司;华芯半导体科技有限公司
申请人地址 ：
北京市顺义区中关村科技园顺义园临空二路1号
代理机构 ：
北京中知法苑知识产权代理有限公司
代理人 ：
李明
优先权 ：
CN202210154369.2
主分类号 ：
F27D5/00
IPC分类号 ：
F27D5/00 F27B17/00
相关图片
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F27
炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D5/00
炉内装料的支架、屏板或类似装置
法律状态
2022-05-06 ：
授权
2022-04-05 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : F27D 5/00
申请日 : 20220221
申请日 : 20220221
2022-03-18 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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