一种观察角度广的视窗
实质审查的生效
摘要

本申请提供一种观察角度广的视窗,所述视窗设置在真空蒸镀机的腔体门上,所述视窗的结构从外向内包括:外层玻璃、安装架和延伸件,所述外层玻璃和安装架固定在腔体门上,延伸件位于真空蒸镀机的主腔体内,延伸件有两个,两个延伸件上下设置在第一通孔的上下两边,延伸件中的一个或者两个具有反射功能;延伸件3反射光线和阻挡蒸发的蒸镀材料穿过第一通孔;镀膜时坩埚内的蒸镀材料的表面与主腔体底板之间的距离为H,坩埚内的蒸镀材料的表面中心点与腔体门之间的距离为L,以坩埚内蒸镀材料表面最中心点和坩埚上沿最右侧点之间连线,该连接线与腔体门内壁的垂直线之间的夹角为b,视窗的上方延伸件31的最低点与主腔体底板之间的距离大于H+L×cotb。

基本信息
专利标题 :
一种观察角度广的视窗
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114540784A
申请号 :
CN202210156828.0
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2022-02-21
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
薛蒙晓
申请人 :
苏州佑伦真空设备科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市苏州工业园区东旺路45号
代理机构 :
苏州彰尚知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
马庆戈
优先权 :
CN202210156828.0
主分类号 :
C23C14/52
IPC分类号 :
C23C14/52  C23C14/24  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/52
观察镀覆工艺的装置
法律状态
2022-06-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/52
申请日 : 20220221
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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