一种CVD生长石墨烯粉体中进气管内壁积碳去除方法
公开
摘要

本发明公开一种CVD生长石墨烯粉体中进气管内壁积碳去除方法,包括以下步骤:S1、将石墨进气管插入液态金属中,然后通过石墨进气管向液态金属中通入含碳源气体/氮气的混合气体,在液态金属中生长石墨烯粉体,石墨烯粉体连续生长预定时间后,断开含碳源气体,氮气流量保持不变,暂停石墨烯粉体生长;S2、调整熔融液态金属的温度;S3、将石墨进气管的出气口移出液态金属的液面,然后向石墨进气管内通入氧气/氮气混合气体;S4、氧气/氮气混合气体通入设定时间后,断开氧气,氮气保持不变,降温。本发明方法不仅能高效去除进气管内壁积碳,而且操作简单,从暂停石墨烯粉体生长到再次生长间隔时间短,石墨烯粉体生长效率高。

基本信息
专利标题 :
一种CVD生长石墨烯粉体中进气管内壁积碳去除方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114289420A
申请号 :
CN202210156844.X
公开(公告)日 :
2022-04-08
申请日 :
2022-02-21
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
王增奎金虎邓科文常博文
申请人 :
常州二维碳素科技股份有限公司
申请人地址 :
江苏省常州市武进区经济开发区祥云路6号
代理机构 :
常州易瑞智新专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
孙盼盼
优先权 :
CN202210156844.X
主分类号 :
B08B9/032
IPC分类号 :
B08B9/032  C01B32/186  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B9/00
用专门的方法或设备清洁空心物品
B08B9/02
清洁管道、管子、管子系统或管道系统
B08B9/027
清洁内表面;去除堵塞物
B08B9/032
靠运动流体的机械作用,例如,靠冲洗
法律状态
2022-04-08 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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