本发明公开了一种平铺式升降回流精准定位输送装置，包括：若干个彼此对接的输送机构，用于输送载板，且能同时将上下载板沿不同方向输送；若干个箱体，其两端开口且相通，箱体设置在输送机构上；若干个定位装置，设置在输送机构，定位装置用于对输送过程中停下的载板位置进行矫正；两个升降输送机构，升降输送机构用于承接输送机构输送过来的载板，并使载板沿反方向输送到输送机构上；除尘装置。本发明中，整条输送线采用全自动化，并不需人工参与，生产效率和稳定性差高；整条输线除和下道工序对接处外，其余部分采用钣金或透明有机玻璃封闭，同时除尘装置对载板进行除尘处理，防止周围环境或者交叉落灰对硅片及载板的污染。