MEMS能量采集器及其制作方法
实质审查的生效
摘要
本发明所要解决的技术问题是，提供一种MEMS能量采集器及其制作方法，能够提高磁性元件的振动机械能与电能之间的转换效率。为了解决上述问题，本发明提供了一种MEMS能量采集器，包括：衬底，所述衬底具有一中空部；磁芯，所述磁芯可动设置在所述中空部内；线圈，所述线圈埋设在所述衬底内并环绕所述磁芯和中空部设置；悬臂梁，所述悬臂梁连接所述磁芯与所述衬底，所述悬臂梁内包括一压电材料层。上述技术方案所涉及的MEMS能量采集器，其磁芯被精准的设置在线圈所在平面内，且通过压电材料层悬置。故在磁芯发生移动时，能够最大效率的将动能同时通过线圈和压电材料层转化为电能，提高能量采集效率。
基本信息
专利标题 ：
MEMS能量采集器及其制作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114337372A
申请号 ：
CN202210158870.6
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2022-02-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张楠
申请人 ：
上海声动微科技有限公司
申请人地址 ：
上海市嘉定区嘉定工业区叶城路912号J
代理机构 ：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
孙佳胤
优先权 ：
CN202210158870.6
主分类号 ：
H02N2/18
IPC分类号 ：
H02N2/18
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H02N 2/18
申请日 : 20220221
申请日 : 20220221
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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