负型感光性树脂组合物、固化膜、具备固化膜的显示装置、及其...
实质审查的生效
摘要
本发明提供敏感度高、半色调特性优异、能够得到低锥度的图案形状且可进行碱显影的负型感光性树脂组合物。负型感光性树脂组合物，其至少包含(A1)含有弱酸性基团的树脂及(A2)含有不饱和基团的树脂作为(A)碱溶性树脂，上述(A1)含有弱酸性基团的树脂具有在二甲基亚砜中的酸解离常数在13.0～23.0的范围内的酸性基团，上述(A2)含有不饱和基团的树脂具有烯键式不饱和双键基团。
基本信息
专利标题 ：
负型感光性树脂组合物、固化膜、具备固化膜的显示装置、及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114460809A
申请号 ：
CN202210164389.8
公开（公告）日 ：
2022-05-10
申请日 ：
2017-03-17
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
谷垣勇刚龟本聪三好一登
申请人 ：
东丽株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京市金杜律师事务所
代理人 ：
杨宏军
优先权 ：
CN202210164389.8
主分类号 ：
G03F7/004
IPC分类号 ：
G03F7/004 G03F7/038 G03F7/031 H01L51/52 H01L51/56
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
法律状态
2022-05-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/004
申请日 : 20170317
申请日 : 20170317
2022-05-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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