一种晶圆侧边影像检测装置
实质审查的生效
摘要
本发明提供了一种晶圆侧边影像检测装置，属于半导体检测领域，装置包括影像采集机构、晶圆载台和控制器，影像采集机构距离可调的正对晶圆载台设置，晶圆载台高度可调的旋转支撑多种规格的晶圆，通过控制器控制晶圆载台带动被测晶圆旋转，并控制影像采集机构完成对晶圆全周侧的影像采集；装置设置多个影像采集机构围绕晶圆载台周向均布的设置；以此提高晶圆侧边影像采集的精度和效率，便于在半导体检测领域中推广应用。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆侧边影像检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114460009A
申请号 ：
CN202210167185.X
公开（公告）日 ：
2022-05-10
申请日 ：
2022-02-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
不公告发明人
申请人 ：
苏州矽行半导体技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市高新区培源路2号微系统园2号楼106室
代理机构 ：
北京千壹知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王玉玲
优先权 ：
CN202210167185.X
主分类号 ：
G01N21/01
IPC分类号 ：
G01N21/01 G01N21/95
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/01
便于进行光学测试的装置或仪器
法律状态
2022-05-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 21/01
申请日 : 20220223
申请日 : 20220223
2022-05-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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