一种CIS玻璃罩的制作方法
公开
摘要
本发明公开一种CIS玻璃罩的制作方法，涉及CIS晶圆加工领域，具体包括S1、激光扫描：用激光发射器发射飞秒激光，在玻璃表面扫描出图形轮廓；S2、药水腐蚀：用药水按照轮廓腐蚀处对应的图形；S3、灌胶：在药水腐蚀后的图形内灌入高透光性胶水；S4、晶圆贴合：将晶圆沿着胶水贴合于玻璃表面；本发明使用激光工艺，替代传统的曝光显影工艺，先通过激光对玻璃表面进行扫描，在扫描到所需图形后，在图形表面用药水进行腐蚀，然后涂胶，贴合晶圆，大大降低了工艺难度，提升了良品率。
基本信息
专利标题 ：
一种CIS玻璃罩的制作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114582901A
申请号 ：
CN202210167563.4
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2022-02-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
周旭李居知李华
申请人 ：
苏州轩创科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江区东太湖生态旅游度假区(太湖新城)简村路100号智慧信息产业园6-610
代理机构 ：
北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
童杨益
优先权 ：
CN202210167563.4
主分类号 ：
H01L27/146
IPC分类号 ：
H01L27/146 C03C15/00 C03C27/00
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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