本发明公开了一种高精度调平式平面抛光机，涉及抛光机领域，包括：底座；外壳，外壳安装于底座上端，外壳由侧腔体和顶板相互连接而成；调平式底座组件，调平式底座组件固定安装于底座上表面中端，调平式底座组件设置于外壳内部的容置空间，并延伸至外壳上端；旋转工作台，旋转工作台上端设置有若干个抛光工位；抛头移动组件，抛头移动组件固定安装于外壳上端；抛头组件，抛头组件固定安装于抛头移动组件末端。本发明的优点在于：通过设置调平式底座组件，保证了工件的待抛光面与抛头处于平行状态，有效的保证了抛光时工件的待抛光面各处的受力均匀，保证抛光面的抛光效果均匀，提高抛光的精度，品质稳定性也大大提高。