本发明公开了一种钛合金表面耐蚀涂层的制备方法，涉及金属涂层制备技术领域。本发明的一种钛合金表面耐蚀涂层的制备方法，通过在钛合金的表面利用化学气相沉积技术制备钽铜混合涂层，包括先对涂层表面在高温下进行渗氮处理，然后才沉积的钽铜涂层，使得前期渗入基体表层内的活性氮原子与钽原子相结合；洗气完毕后到反应开始前的腔体加热过程中一直在用分子泵和机械泵组合的复合泵抽着真空，极大的避免了反应前基体表面严重氧化；反应过程一直到反应结束冷却完毕前一直使用机械泵抽真空，极大的避免了反应时涂层沉积的过程中发生氧化。反应完成后的钽铜元素均匀混合，且钽元素并没有完全的包覆住铜元素，故铜元素能够释放出来起到杀菌效果。