一种计算机控制的化学机械抛光装置
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种计算机控制的化学机械抛光装置,包括底座,所述底座上端固定连接有液压油缸,所述液压油缸活动端固定连接有安装板,所述安装板上端固定连接有抛光垫,所述底座上端固定连接有U型架,所述U型架内顶部固定连接有电机,所述电机输出端固定连接有圆盘,所述圆盘上安装有固定机构,所述固定机构包括对称固定连接在圆盘下端的多个固定轴,多个所述固定轴下端均固定连接有固定块,所述固定块下端开设有固定槽,所述固定槽内壁对称开设有两个滑槽,两个所述滑槽内壁滑动连接有两个固定杆。本发明中的清洁机构可以快速的将工件表面残留的抛光液和金属污染物清理掉,大大降低了工人的劳动的强度,提高的化学抛光的效率。
基本信息
专利标题 :
一种计算机控制的化学机械抛光装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114473808A
申请号 :
CN202210181173.2
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2022-02-25
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
周大刚
申请人 :
西华师范大学
申请人地址 :
四川省南充市顺庆区师大路1号
代理机构 :
陕西铭一知识产权代理有限公司
代理人 :
王为
优先权 :
CN202210181173.2
主分类号 :
B24B29/00
IPC分类号 :
B24B29/00 B24B41/06 B24B41/00 B24B57/02 B24B55/06 B24B55/12
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B29/00
有或没有使用固体或液体抛光剂并利用柔软材料或挠性材料制作的工具进行工件表面抛光的机床或装置
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 29/00
申请日 : 20220225
申请日 : 20220225
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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