一种气体切换用集控模块
公开
摘要
本发明提供了一种气体切换用集控模块，包括输入端模组和输出端模组；输入端模组上设置有第一五通气动阀、第一膜片、出气端口、两个输入三通阀和三个外接端口；输出端模组上设置有第二五通气动阀、第二膜片、进气端口、输出端口和两个输出三通阀；三个外接端口通过第一五通气动阀、第一膜片与出气端口连通；两个输入三通阀用于控制第一五通气动阀；进气端口的一端与出气端口连通；进气端口的另一端通过第二五通气动阀、第二膜片与输出端口连通；两个输出三通阀用于控制第二五通气动阀。本发明的气体切换用集控模块，将控制阀元件及膜片均集成于一个整体，大幅压缩了设备的尺寸，另外，避免气流经过电磁阀进行切换，防止了气流被污染。
基本信息
专利标题 ：
一种气体切换用集控模块
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114562586A
申请号 ：
CN202210186326.2
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2022-02-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
崔晓兵田世伟李志龙宋婉贞时连辉
申请人 ：
北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请人地址 ：
北京市北京经济技术开发区泰河三街1号
代理机构 ：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
林之权
优先权 ：
CN202210186326.2
主分类号 ：
F16K11/22
IPC分类号 ：
F16K11/22 F16K31/126 G01L19/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K11/00
多通阀，如混合阀；装有这种阀的管件；阀和专门适用于混合流体的流送管配置
F16K11/10
带有两个或多个闭合元件不作为一个单元移动
F16K11/20
由分开的致动元件操作
F16K11/22
每一个阀有一个操纵元件，如相互连接形成多通阀
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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