抽排结构
实质审查的生效
摘要

本发明提供一种抽排结构,涉及半导体设备领域。所述抽排结构包括导气部、第一管道、第二管道和第一调节部,所述第一管道和所述第二管道分别与所述导气部连接,所述第一调节部设置于所述第一管道,以调节通过所述第一管道和所述第二管道两者的气体的压力;所述第一管道沿第一方向延伸,所述第二管道沿第二方向延伸,所述导气部的延伸方向与所述第一方向的夹角不同于所述导气部的延伸方向与所述第二方向的夹角。根据本申请的抽排结构,解决了现有的抽排结构所能调节的压力范围相对受限的问题,在风机抽气压力一定的情况下,进一步实现了对第一管道和第二管道内的气体的压力的调节。

基本信息
专利标题 :
抽排结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114542422A
申请号 :
CN202210187370.5
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2022-02-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
崔岳李玉敏张帅韩帅
申请人 :
北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
申请人地址 :
北京市北京经济技术开发区泰河三街1号
代理机构 :
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
高燕
优先权 :
CN202210187370.5
主分类号 :
F04B37/10
IPC分类号 :
F04B37/10  F04B39/12  F04B39/14  H01L21/67  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F04
液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵
F04B
液体变容式机械;泵
F04B
液体变容式机械;泵
F04B37/00
专门适用于弹性流体的并且其相关特征不包含在F04B 25/00至F04B 35/00组中或与上述各组无关的泵
F04B37/10
用于特殊用途
法律状态
2022-06-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : F04B 37/10
申请日 : 20220228
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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