产生深紫外激光的装置
公开
摘要
本公开涉及了一种产生深紫外激光的装置，包括：固体激光器，提供持续稳定的激光；聚焦透镜，用于对固体激光器射出的激光进行聚焦；氮气腔室，聚焦透镜设置于氮气腔室外侧，氮气腔室被构造成提供氮气环境；非线性超表面，设置在氮气腔室内，具有三阶非线性光学性质，聚焦透镜聚焦后的激光通过非线性超表面可产生三次谐波深紫外激光；电动转台，设置于非线性超表面下，用于微调电动转台，为电动转台上的所述非线性超表面提供合适的角度；分光组件，被构造成将来自于非线性超表面的三次谐波深紫外激光分成长波长基频光和短波长三次谐波深紫外激光。
基本信息
专利标题 ：
产生深紫外激光的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114552358A
申请号 ：
CN202210188911.6
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2022-02-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
唐光鑫张玲
申请人 ：
中国科学院半导体研究所
申请人地址 ：
北京市海淀区清华东路甲35号
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
张博
优先权 ：
CN202210188911.6
主分类号 ：
H01S3/10
IPC分类号 ：
H01S3/10 H01S3/00
法律状态
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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