一种激光振镜扫描装置
公开
摘要
本发明公开了一种激光振镜扫描装置，属于激光加工领域。装置包括：聚焦镜组、分光式振镜和透射光吸收模块。入射光被聚焦镜组汇聚，照射在分光式振镜上的激光发生透射和反射产生透射光和反射光，透射光被透射光吸收模块吸收，反射光用于激光加工。其中，分光式振镜的入射面镀增反膜，背面镀增透膜，振镜基材选择低吸收材料，通过减少正面介质增反膜的层数和减少透射光在振镜后表面的反射，有效降低振镜膜层和基体材料吸收的激光能量，大幅提高振镜承受的激光功率，同时保证膜层较高的损伤阈值。本发明在高功率激光加工以及其他振镜扫描能量传输过程有广泛的应用。
基本信息
专利标题 ：
一种激光振镜扫描装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114563870A
申请号 ：
CN202210189911.8
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2022-02-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
秦应雄李恒阳
申请人 ：
华中科技大学
申请人地址 ：
湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
代理机构 ：
华中科技大学专利中心
代理人 ：
徐美琳
优先权 ：
CN202210189911.8
主分类号 ：
G02B26/10
IPC分类号 ：
G02B26/10 G02B1/10 G02B5/08 G02B1/11
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
G02B26/10
扫描系统
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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