一种超高纯石英砂的提纯方法
实质审查的生效
摘要

为克服现有石英砂提纯工艺存在杂质残留,影响石英砂纯度的问题,本发明提供了一种超高纯石英砂的提纯方法,包括以下操作:获取石英砂;对石英砂进行动态冲击压缩,使石英砂处于无序亚稳态;使用化学溶液处理石英砂以去除杂质,清洗后得到高纯度石英砂。本发明提供的超高纯石英砂的提纯方法通过对石英砂进行动态冲击压缩,使石英砂处于结构松散的无序亚稳态,从而使得化学溶液可以充分渗入,去除深层杂质,提纯效果更好。该方法可以结合氯化焙烧等其他石英晶格杂质提纯步骤,实现半导体制造业所需的4N8、5N级别的超高纯石英砂制取。

基本信息
专利标题 :
一种超高纯石英砂的提纯方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114477189A
申请号 :
CN202210199336.X
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2022-03-01
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
何良雨刘彤
申请人 :
何良雨
申请人地址 :
广东省深圳市前海深港合作区南山街道前湾一路35号深港青年梦工场10栋412
代理机构 :
深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙)
代理人 :
谭果林
优先权 :
CN202210199336.X
主分类号 :
C01B33/12
IPC分类号 :
C01B33/12  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素;其化合物
C01B33/00
硅; 其化合物
C01B33/113
氧化硅;其水合物
C01B33/12
硅石;其水合物,如勒皮硅酸
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C01B 33/12
申请日 : 20220301
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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