本发明属于先进制造技术领域，涉及一种用于制备线形结构侧向电极的定位装置。利用光沿直线传播原理，借助双光源调整线形结构与掩模的位置，实现线形结构与掩模缝隙中心对称。首先负压吸附转移线形结构至掩模缝隙周围，打开双光源，并借助定位挡板、微位移平台、探针不断移动线形结构，通过底部光线明暗度判断线形结构在掩模上的位置，最终实现线形结构在掩模缝隙上的定位。此用于制备线形结构侧向电极的定位装置，通过光线明暗度，控制线形结构在掩模上的位置，实现线形结构制备侧向电极时在掩模上位置的定位，实现不同尺寸、不同数量线形结构侧向电极的制备，该定位装置结构简单、易于操作。