一种人造金刚石制备工艺及其设备
实质审查的生效
摘要
本发明涉及金刚石制备领域，具体涉及一种人造金刚石制备工艺及其设备，一种人造金刚石制备工艺，包括如下步骤：对衬底进行处理，具体如下：对衬底进行清洗干燥；制备金刚石微粉浆料，并将该浆料涂覆于衬底表面，烘干后得到复合衬底；将所述复合衬底至于氧气环境下，并在600‑800℃下进行加热，得到所需衬底，备用；采用热丝化学气相沉积法在所述所需衬底上生长得到金刚石薄膜。在600‑800℃这个温度区间加热，氧气会把石墨中的碳元素氧化成二氧化碳，进而排出，如此一来削减了石墨结构，二来二氧化碳排出后，金刚石微粉涂层中会形成少许微米级的微孔。
基本信息
专利标题 ：
一种人造金刚石制备工艺及其设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114540791A
申请号 ：
CN202210207787.3
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2022-03-04
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
余斌余海粟朱轶方陆骁莹
申请人 ：
杭州超然金刚石有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市萧山区经济技术开发区鸿兴路158号2号楼2-117
代理机构 ：
杭州信与义专利代理有限公司
代理人 ：
马育妙
优先权 ：
CN202210207787.3
主分类号 ：
C23C16/27
IPC分类号 ：
C23C16/27 C23C16/02
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/26
仅沉积碳
C23C16/27
仅沉积金刚石
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 16/27
申请日 : 20220304
申请日 : 20220304
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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