本发明公开了一种高精度光学调焦机构、装置、系统及设备，涉及光学调焦技术领域，其技术方案要点是：包括调焦机构座和调焦镜组，所述调焦机构座设有调焦电机、消隙齿轮、从动齿轮、传动丝杠和消隙螺母；所述调焦电机的输出端与消隙齿轮同轴连接，消隙齿轮与从动齿轮啮合，传动丝杠的输入端与从动齿轮同轴连接；所述消隙螺母与传动丝杠套接，且消隙螺母与调焦镜组相对固定连接；所述调焦机构座设有用于限制调焦镜组沿传动丝杠轴线方向移动的限位组件。本发明消除了加工制造、装配、使用磨损等各种原因导致的间隙的存在，从而实现了高精度的光学调焦，提高了光电探测设备抗振动冲击的性能，避免的对零件加工装配的过高要求，具有一定经济性。