一种硅反应装置
公开
摘要
本发明涉及一种硅反应装置，包括腔体以及抽气部，抽气部设置于腔体的底部的中央并与腔体连通，抽气部包括阀板、连杆、抽气管道以及驱动组件，连杆的第一端与阀板固定连接，驱动组件与连杆的第二端连接以驱动连杆做升降运动，阀板用于在连杆的作用下开启或关闭抽气管道。本发明能够提高腔体内硅晶圆表面的气体的均匀性，同时能够调控腔体内的压力，使得压力趋于平稳。
基本信息
专利标题 ：
一种硅反应装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114602401A
申请号 ：
CN202210216131.8
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2022-03-07
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
项习飞田才忠林保璋余先炜
申请人 ：
盛吉盛半导体科技（北京）有限公司;盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区北京经济技术开发区荣华南路15号院2号楼7层703室（北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团）
代理机构 ：
北京市竞天公诚律师事务所
代理人 ：
陈果
优先权 ：
CN202210216131.8
主分类号 ：
B01J19/00
IPC分类号 ：
B01J19/00 B01J4/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01J
化学或物理方法，例如，催化作用或胶体化学；其有关设备
B01J19/00
化学的，物理的或物理—化学的一般方法；及其有关设备
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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