一种石墨坩埚
实质审查的生效
摘要

本发明提供了一种石墨坩埚,所述石墨坩埚包括埚体和坩埚盖,所述埚体包括埚体底部、内壁和外壁;所述内壁上设置有支撑平台,所述支撑平台用于水平放置坩埚盖;所述内壁上设置有凹槽,所述凹槽与支撑平台相连;所述坩埚盖包括进气孔和排气孔。本发明通过在石墨坩埚的内壁上设置凹槽,凹槽位于与上口处的支撑平台与内壁相接的位置,可以有效的阻止在石墨坩埚内通气时液体飞溅至炉腔内,石墨坩埚内的支撑平台位于加热系统内部,使得坩埚盖与石墨坩埚内部的支撑平台结合面处于高温加热区,避免了在接缝位置铜液凝结聚集。

基本信息
专利标题 :
一种石墨坩埚
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114436249A
申请号 :
CN202210218548.8
公开(公告)日 :
2022-05-06
申请日 :
2022-03-04
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
王增奎金虎邓科文常博文
申请人 :
常州二维碳素科技股份有限公司
申请人地址 :
江苏省常州市武进经济开发区祥云路6号
代理机构 :
北京品源专利代理有限公司
代理人 :
陈小龙
优先权 :
CN202210218548.8
主分类号 :
C01B32/186
IPC分类号 :
C01B32/186  C23C16/26  C23C16/44  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素;其化合物
C01B32/00
碳;其化合物
C01B32/15
纳米级碳材料
C01B32/182
石墨烯
C01B32/184
制备
C01B32/186
化学气相沉积
法律状态
2022-05-24 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C01B 32/186
申请日 : 20220304
2022-05-06 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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