一种防串扰式扫描隧道显微镜扫描装置
公开
摘要
本发明公开了一种防串扰式扫描隧道显微镜扫描装置，运用于精密检测与纳米位移领域，包括：外壳、Z轴进针、样品台、XY轴位移台和步进粗调机构，通过通电的压电陶瓷产生形变使位移台产生弹性形变，运用闭环反馈来得到准确的纳米位移量，在赋予电压差的针尖与样品之间小于1nm时会产生隧道电流，通过读取隧道电流的大小来反馈出原子形貌，将Z轴与XY轴位移台分离，隔绝了容易发生扰动的Z轴对XY轴的干扰，XY轴位移台采用并联式上下叠加，通过陶瓷材料连接，有效减小扰动，采用了悬臂梁式柔性铰链机构来执行弹性形变，力学性能较好且较容易实现纳米位移，将针尖固定于Z轴上，避免多余的针尖装置，保证针尖垂直于样品台，保证扫描的准确性。
基本信息
专利标题 ：
一种防串扰式扫描隧道显微镜扫描装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114594283A
申请号 ：
CN202210226999.6
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2022-03-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
范贤光廖志鹏支瑜亮任斌
申请人 ：
厦门大学
申请人地址 ：
福建省厦门市思明区思明南路422号
代理机构 ：
黑龙江立超同创知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
王大为
优先权 ：
CN202210226999.6
主分类号 ：
G01Q60/10
IPC分类号 ：
G01Q60/10
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01Q
扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术
G01Q60/00
特殊类型的SPM或其设备；其基本组成
G01Q60/10
STM或其设备，例如STM探针
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
