一种太阳能电池生产线
公开
摘要
本发明公开了本发明提供一种太阳能电池生产线，包括：制绒设备，硼扩散设备，掺杂剂沉积设备，退火设备，链式湿法设备。本发明太阳能电池生产线，在硼扩散设备和链式湿法设备之间增加掺杂剂沉积设备和退火设备；可先将硅片背面BSG层变为XBSG层，X为Ⅴ族元素；再进行背刻蚀去除XBSG层；这样可降低背刻蚀的氢氟酸浓度，减少背刻蚀的时间，可降低酸耗，提高产能，优化工艺窗口，规避安全风险，有效优化TOPCon电池的工艺路线。且本发明产线可以为全链式，可有效降低人力成本，可优化车间布局减少占地，可减少人员带来的环境污染，降低不良率提高电池效率，可简化样品流转过程降低待滞时间，从而减少不良提高产能。
基本信息
专利标题 ：
一种太阳能电池生产线
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114566569A
申请号 ：
CN202210232144.4
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2022-03-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
任常瑞李鑫路董建文符黎明
申请人 ：
常州时创能源股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202210232144.4
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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