本发明涉及废气处理技术领域，涉及一种聚酰亚胺生产用废气净化装置及净化工艺，包括通气管道，通气管道的一侧连通混气管道，通气管道的出气端连通气体干燥组件、预处理组件、预热组件、鼓风机与净化组件，净化组件包括罐体，罐体的下端安装有进气管道，进气管道的出气端安装有第一单向阀，罐体的上部安装有排气管道，排气管道的一侧安装有回气管，回气管内安装有第二单向阀，排气管道的一端安装有第一HCl检测仪，排气管道内的另一侧安装有第二HCl检测仪，本发明设置第一HCl检测仪和第二HCl检测仪对HCl气体进行检测，使混合气体在罐体、排气管道、回气管与进气管道之间形成循环，对混合气体进行持续净化，减少了HCl的含量。