基于功率跟踪变频输出的等离子体电源控制方法及系统
公开
摘要
本发明提供了一种基于功率跟踪变频输出的等离子体电源控制方法及系统，属于自动控制技术领域，该方法采用纯软件算法控制压电陶瓷变压器工作在最佳工作点，频率闭环和功率闭环组成的双闭环控制可随工况实时调节频率及PWM占空比，令等离子体电源维持最大功率持续稳定输出，增强了系统稳定性，并且无需硬件锁相控制，降低了电路复杂度，降低了产品成本。
基本信息
专利标题 ：
基于功率跟踪变频输出的等离子体电源控制方法及系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114628573A
申请号 ：
CN202210236737.8
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2022-03-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
徐梦阳赵峰冷凤羽袁佳俊徐铖
申请人 ：
中国科学院电工研究所
申请人地址 ：
北京市海淀区中关村北二条6号中科院电工所
代理机构 ：
北京高沃律师事务所
代理人 ：
赵兴华
优先权 ：
CN202210236737.8
主分类号 ：
H01L41/107
IPC分类号 ：
H01L41/107
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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