底部照明模块调节装置
公开
摘要
本申请涉及半导体生产技术领域，尤其是涉及一种底部照明模块调节装置，用于安装在基础框架和底部照明模块之间，底部照明模块调节装置包括支撑构件、X向调节机构、Y向调节机构及Z向调节机构，支撑构件与基础框架相连接；X向调节机构设置于支撑构件与底部照明模块之间，用于调整并锁定调整后的底部照明模块的X向位置；Y向调节机构设置于支撑构件与底部照明模块之间，用于调整并锁定调整后的底部照明模块的Y向位置及Rz；Z向调节机构设置于支撑构件与底部照明模块之间，用于调整并锁定底部照明模块的Z向位置及Rx和Ry。可见，利用本装置能实现Rx、Ry、Rz、X、Y及Z六个自由度的调节，实现底部照明模块的精确复位，通用性强。
基本信息
专利标题 ：
底部照明模块调节装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114562709A
申请号 ：
CN202210244714.1
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2022-03-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
郑艳芳杨师路继松李海彬
申请人 ：
北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请人地址 ：
北京市北京经济技术开发区泰河三街1号
代理机构 ：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
宋家会
优先权 ：
CN202210244714.1
主分类号 ：
F21V21/14
IPC分类号 ：
F21V21/14 F21V15/04
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F21
照明
F21V
照明装置或其系统的功能特征或零部件；不包含在其他类目中的照明装置和其他物品的结构组合物
F21V
照明装置或其系统的功能特征或零部件；不包含在其他类目中的照明装置和其他物品的结构组合物
F21V21/00
照明装置的支撑、悬挂或连接装置
F21V21/14
可调的架座
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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