一种MEMS压力传感器自动标定线装置
公开
摘要
本发明提供了一种MEMS压力传感器自动标定线装置。该装置包括：上料部件、温控试验箱、标定线皮带传输、测试压合部件、温度测试区、下料部件(包含NG标识和不良品剔除机构)、测试标定系统及电气控制系统，自动完成MEMS压力传感器的上料、低温测试、常温测试、高温测试、参数写入、复测、不良品标记、下料，进而完成MEMS压力传感器的标定。本标定线装置缩短了温度等待时间、减小温度误差、提高测试精度；其次不需要人工更换温度、操作软件系统等，并且降低了人工成本，实现MEMS压力传感器的多阶校准。
基本信息
专利标题 ：
一种MEMS压力传感器自动标定线装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114618796A
申请号 ：
CN202210248646.6
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2022-03-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
周浩楠陈广忠霍向明张亚婷
申请人 ：
北京智芯传感科技有限公司
申请人地址 ：
北京市海淀区中关村大街19号新中关大厦B座北翼1701
代理机构 ：
北京墨丘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
唐忠仙
优先权 ：
CN202210248646.6
主分类号 ：
B07C5/34
IPC分类号 ：
B07C5/34 B07C5/36 G01L27/00 G01L25/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B07
将固体从固体中分离；分选
B07C
邮件分拣；单件物品的分选，或适于一件一件地分选的散装材料的分选，如拣选
B07C5/00
按照物品或材料的特性或特点分选，例如用检测或测量这些特性或特点的装置进行控制；用手动装置，例如开关，来分选
B07C5/34
根据其他特殊性质来分选
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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