微力施加装置
公开
摘要

本发明公开了一种微力施加装置,该微力施加装置包括力传感器和微动平台,力传感器与微动平台的力传感器安装面刚性链接,通过微动平台带动力传感器进行微量移动;微动平台包括位移传感器组件、顶部封板、运动基体、底部封板和微动平台驱动结构,微动平台驱动结构包括驱动机构和安装在驱动机构中的压电陶瓷促动器。本发明利用压电陶瓷促动器的逆压电效应,通过电场的精确控制,能够使压电陶瓷促动器的膨胀尺度达到亚纳米尺度,能够对力传感器实现微力(mg级及以下)的施加,进而能够满足台阶仪在纳米尺度下定量和定性的检测材料表面形貌特征,以及在微力作用下材料的力学性质、物性测量等物理研究。

基本信息
专利标题 :
微力施加装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114629375A
申请号 :
CN202210248822.6
公开(公告)日 :
2022-06-14
申请日 :
2022-03-14
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
徐金林许智蒋晓磊
申请人 :
东莞市卓聚科技有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市松山湖园区学府路1号12栋402室
代理机构 :
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
何世磊
优先权 :
CN202210248822.6
主分类号 :
H02N2/02
IPC分类号 :
H02N2/02  H02N2/06  G01B21/20  G01N3/02  
法律状态
2022-06-14 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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