一种精密气浮转台
实质审查的生效
摘要

本发明涉及气浮转台技术领域,具体公开了一种精密气浮转台,该精密气浮转台包括安装座、驱动组件、气浮轴承转子和气浮轴承定子。其中,驱动组件螺接于安装座,气浮轴承转子连接于驱动组件的输出端;气浮轴承转子的端部设有转接盘,转接盘和气浮轴承转子围设成环形槽,转接盘设有第一通孔;气浮轴承定子螺接于安装座,气浮轴承定子设有正压组件和负压组件,正压组件包括至少一个正压入口,正压入口用于提供正压气体,正压气体在气浮轴承定子的上端面、下端面和位于气浮轴承转子周向的内表面产生气膜。上述设置,使得气浮轴承定子的上端面、下端面以及内侧面均能产生气膜,进而避免和气浮轴承转子发生摩擦,提高了气浮轴承转子的转动精度。

基本信息
专利标题 :
一种精密气浮转台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114523453A
申请号 :
CN202210251285.0
公开(公告)日 :
2022-05-24
申请日 :
2022-03-15
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
陈淮阳王冰冰
申请人 :
合肥御微半导体技术有限公司
申请人地址 :
安徽省合肥市高新区华佗巷469号品恩科技园1号楼
代理机构 :
北京品源专利代理有限公司
代理人 :
沈鑫洪
优先权 :
CN202210251285.0
主分类号 :
B25H1/00
IPC分类号 :
B25H1/00  G01R1/04  G01R31/28  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B25
手动工具;轻便机动工具;手动器械的手柄;车间设备;机械手
B25H
车间设备,例如用于工件划线;车间储存设备
B25H1/00
工作台;用于放置轻便工具或工件的轻便台座或支架,在台座或支架上操作工作
法律状态
2022-06-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B25H 1/00
申请日 : 20220315
2022-05-24 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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